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第一章 薄膜沉積設備行業相關概述
1.1 半導體設備行業相關概念
1.1.1 行業基本概念
1.1.2 行業主要分類
1.1.3 投資價值占比
1.2 薄膜沉積設備行業基本介紹
1.2.1 行業基本概念
1.2.2 行業主要類別
1.2.3 設備技術對比
第二章 2022-2024年半導體設備行業發展綜合分析
2.1 2022-2024年全球半導體設備行業發展狀況
2.1.1 市場規模狀況
2.1.2 市場區域分布
2.1.3 市場產品結構
2.1.4 企業競爭格局
2.1.5 行業投資狀況
2.2 2022-2024年中國半導體設備行業發展分析
2.2.1 市場規模狀況
2.2.2 國產化率情況
2.2.3 企業產品布局
2.2.4 企業營收排名
2.2.5 對外貿易狀況
2.3 中國半導體設備行業上市公司財務狀況
2.3.1 上市公司規模
2.3.2 上市公司分布
2.3.3 經營狀況分析
2.3.4 盈利能力分析
2.3.5 營運能力分析
2.3.6 成長能力分析
2.3.7 現金流量分析
2.4 中國半導體設備行業發展展望
2.4.1 行業發展路徑
2.4.2 市場需求潛力
2.4.3 行業發展前景
第三章 2022-2024年中國薄膜沉積設備行業發展環境分析
3.1 政策環境
3.1.1 行業監管主體部門
3.1.2 行業相關發展政策
3.1.3 企業稅收優惠政策
3.1.4 產業投資基金支持
3.2 經濟環境
3.2.1 世界經濟形勢分析
3.2.2 國內宏觀經濟概況
3.2.3 工業經濟運行情況
3.2.4 固定資產投資狀況
3.2.5 國內宏觀經濟展望
3.3 社會環境
3.3.1 數字經濟發展基礎
3.3.2 電子信息產業運行
3.3.3 科技研發投入狀況
3.3.4 技術人才培養情況
第四章 2022-2024年薄膜沉積設備行業發展綜合分析
4.1 2022-2024年全球薄膜沉積設備行業發展狀況
4.1.1 全球市場規模
4.1.2 全球市場結構
4.1.3 全球競爭格局
4.2 2022-2024年中國薄膜沉積設備行業發展狀況
4.2.1 國內主要廠商
4.2.2 國內中標情況
4.2.3 國產化率情況
4.2.4 國內需求分析
4.3 2022-2024年CVD設備行業發展分析
4.3.1 行業基本概念
4.3.2 產業鏈條結構
4.3.3 市場規模狀況
4.3.4 市場結構占比
4.3.5 市場競爭格局
4.3.6 細分市場格局
4.4 2022-2024年PVD設備行業發展分析
4.4.1 行業基本概念
4.4.2 工藝類型對比
4.4.3 產業鏈條分析
4.4.4 行業產值規模
4.4.5 市場規模狀況
4.4.6 市場區域結構
4.4.7 市場競爭格局
第五章 薄膜沉積設備行業相關技術發展分析
5.1 物理氣相沉積技術發展分析
5.1.1 技術基本簡介
5.1.2 技術基本分類
5.1.3 技術研究進展
5.1.4 技術應用狀況
5.1.5 未來發展展望
5.2 化學氣相沉積技術研究與應用進展
5.2.1 化學氣相沉積技術原理
5.2.2 先進集成電路工藝應用
5.2.3 其他領域技術應用狀況
5.3 原子層沉積技術發展分析
5.3.1 技術基本原理
5.3.2 技術發展優點
5.3.3 關鍵技術分析
5.3.4 技術應用狀況
第六章 2022-2024年中國薄膜沉積設備行業相關進出口數據分析
6.1 2022-2024年中國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進出口數據分析
6.1.1 進出口總量數據分析
6.1.2 主要貿易國進出口情況分析
6.1.3 主要省市進出口情況分析
6.2 2022-2024年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進出口數據分析
6.2.1 進出口總量數據分析
6.2.2 主要貿易國進出口情況分析
6.2.3 主要省市進出口情況分析
6.3 2022-2024年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進出口數據分析
6.3.1 進出口總量數據分析
6.3.2 主要貿易國進出口情況分析
6.3.3 主要省市進出口情況分析
第七章 2022-2024年薄膜沉積設備主要應用領域發展綜合分析
7.1 集成電路領域
7.1.1 集成電路產業銷售規模
7.1.2 集成電路產量規模分析
7.1.3 集成電路產業結構分布
7.1.4 集成電路企業注冊數量
7.1.5 集成電路產業貿易狀況
7.1.6 薄膜沉積設備應用前景
7.2 光伏電池領域
7.2.1 光伏電池產業發展背景
7.2.2 光伏電池行業基本概述
7.2.3 光伏電池行業產量規模
7.2.4 光伏電池轉換效率變化
7.2.5 光伏電池技術路線占比
7.2.6 光伏電池企業數量規模
7.2.7 薄膜沉積設備應用情況
7.2.8 薄膜沉積設備發展前景
7.3 新型顯示領域
7.3.1 新型顯示產業支持政策
7.3.2 新型顯示主要技術對比
7.3.3 新型顯示產業營業收入
7.3.4 新型顯示細分市場發展
7.3.5 新型顯示未來發展趨勢
7.3.6 薄膜沉積設備應用前景
7.4 先進封裝領域
7.4.1 先進封裝產業發展背景
7.4.2 先進封裝行業基本概述
7.4.3 先進封裝行業發展歷程
7.4.4 先進封裝市場規模狀況
7.4.5 先進封裝行業所需設備
7.4.6 先進封裝技術發展展望
7.4.7 薄膜沉積設備應用前景
第八章 2022-2024年國外薄膜沉積設備行業重點企業經營狀況分析
8.1 應用材料（AMAT）
8.1.1 企業發展概況
8.1.2 沉積設備布局
8.1.3 2022年企業經營狀況分析
8.1.4 2023年企業經營狀況分析
8.1.5 2024年企業經營狀況分析
8.2 泛林半導體（Lam）
8.2.1 企業發展概況
8.2.2 沉積設備布局
8.2.3 2022年企業經營狀況分析
8.2.4 2023年企業經營狀況分析
8.2.5 2024年企業經營狀況分析
8.3 東京電子（TEL）
8.3.1 企業發展概況
8.3.2 沉積設備布局
8.3.3 2022年企業經營狀況分析
8.3.4 2023年企業經營狀況分析
8.3.5 2024年企業經營狀況分析
8.4 先晶半導體（ASMI）
8.4.1 企業發展概況
8.4.2 沉積設備布局
8.4.3 2022年企業經營狀況分析
8.4.4 2023年企業經營狀況分析
8.4.5 2024年企業經營狀況分析
第九章 2021-2024年中國薄膜沉積設備行業重點企業經營狀況分析
9.1 北方華創科技集團股份有限公司
9.1.1 企業發展概況
9.1.2 企業業務狀況
9.1.3 沉積設備布局
9.1.4 經營效益分析
9.1.5 業務經營分析
9.1.6 財務狀況分析
9.1.7 核心競爭力分析
9.1.8 公司發展戰略
9.1.9 未來前景展望
9.2 拓荊科技股份有限公司
9.2.1 企業發展概況
9.2.2 沉積設備布局
9.2.3 經營效益分析
9.2.4 業務經營分析
9.2.5 財務狀況分析
9.2.6 核心競爭力分析
9.2.7 公司發展戰略
9.2.8 未來前景展望
9.3 中微半導體設備（上海）股份有限公司
9.3.1 企業發展概況
9.3.2 沉積設備布局
9.3.3 經營效益分析
9.3.4 業務經營分析
9.3.5 財務狀況分析
9.3.6 核心競爭力分析
9.3.7 公司發展戰略
9.3.8 未來前景展望
9.4 盛美半導體設備（上海）股份有限公司
9.4.1 企業發展概況
9.4.2 沉積設備布局
9.4.3 經營效益分析
9.4.4 業務經營分析
9.4.5 財務狀況分析
9.4.6 核心競爭力分析
9.4.7 公司發展戰略
9.4.8 未來前景展望
9.5 江蘇微導納米科技股份有限公司
9.5.1 企業發展概況
9.5.2 主要產品情況
9.5.3 競爭優劣勢分析
9.5.4 業務布局狀況
9.5.5 企業發展動態
9.5.6 未來發展戰略
第十章 中國薄膜沉積設備行業典型項目投資建設深度解析
10.1 高端半導體設備擴產項目
10.1.1 項目基本概況
10.1.2 項目投資必要性
10.1.3 項目投資可行性
10.1.4 項目投資概算
10.1.5 項目建設安排
10.2 先進半導體設備的技術研發與改進項目
10.2.1 項目基本概況
10.2.2 項目投資目的
10.2.3 項目投資概算
10.2.4 項目建設安排
10.2.5 項目選址情況
10.3 ALD設備研發與產業化項目
10.3.1 項目基本概況
10.3.2 項目投資目的
10.3.3 項目投資概算
10.3.4 項目建設安排
10.3.5 項目選址情況
10.4 基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產升級項目
10.4.1 項目基本概況
10.4.2 項目投資必要性
10.4.3 項目投資可行性
10.4.4 項目投資概算
10.4.5 項目進度安排
10.5 基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產升級項目
10.5.1 項目基本概況
10.5.2 項目投資目的
10.5.3 項目投資概算
10.5.4 項目進度安排
10.5.5 項目選址情況
第十一章 2024-2028年中國薄膜沉積設備行業投資分析及前景預測
11.1 中國薄膜沉積設備行業投資分析
11.1.1 行業投資機會
11.1.2 企業上市情況
11.1.3 行業投資壁壘
11.1.4 行業投資風險
11.1.5 企業投資策略
11.2 中國薄膜沉積設備行業發展前景分析
11.2.1 行業發展機遇
11.2.2 未來發展方向
11.2.3 行業發展趨勢
11.3 中投顧問對2024-2028年中國薄膜沉積設備行業預測分析
11.3.1 2024-2028年中國薄膜沉積設備行業影響因素分析
11.3.2 2024-2028年全球薄膜沉積設備市場規模預測
11.3.3 2024-2028年中國CVD設備市場規模預測
薄膜沉積工藝是半導體制造中的關鍵工藝。半導體行業中，薄膜常用于產生導電層或絕緣層、產生減反射膜提高吸光率、臨時阻擋刻蝕等作用，由于薄膜是芯片結構的功能材料層，在芯片完成制造、封測等工序后會留存在芯片中，薄膜的技術參數直接影響芯片性能。由于半導體器件的高精度，薄膜通常使用薄膜沉積工藝來實現，晶圓表面的沉積物會在晶圓表面形成一層連續密閉的薄膜。薄膜沉積設備通常用于在基底上沉積導體、絕緣體或者半導體等材料膜層，使之具備一定的特殊性能，廣泛應用于光伏、半導體等領域的生產制造環節。
2022年全球半導體設備市場規模為1085億美元，創下歷史新高，分析人士指出，在連增三年之后，2023年負增長隱憂顯現。但寒意或許“冷”不到國產半導體設備廠商。A股半導體設備公司2022年業績表現亮眼，北方華創、拓荊科技、芯源微等凈利同比翻倍。與全球半導體設備支出大體跟隨全球半導體資本支出周期的變化相反，國產半導體設備支出由于持續的本土化進程推進而與半導體資本支出周期脫鉤，更具韌性。北方華創、拓荊科技、芯源微、華海清科、長川科技、盛美上海等六家A股半導體設備公司2022年業績同比增速上限大于100%，其中薄膜沉積設備國產領軍者拓荊科技以438%的同比增速排名第一。
SEMI數據顯示，2022年中國晶圓廠商半導體設備國產化率較2021年明顯提升，從21%提升至35%。2022年，在半導體設備各細分領域，薄膜沉積設備國產化率約為8%。
政策方面，2022年3月，在第十三屆全國人民代表大會第五次會議上，其中提到加快發展工業互聯網，培育壯大集成電路、人工智能等數字產業，提升關鍵軟硬件技術創新和供給能力。2022年10月，國家發展改革委和商務部聯合發布了《鼓勵外商投資產業目錄（2022年版）》，其中將“超大規模集成電路制造用關鍵裝備開發、制造”、“集成電路封裝及測試設備制造”以及“晶圓制造及再生”列入鼓勵類目錄。國家政策鼓勵國內半導體行業內企業向更先進技術水平、更廣泛市場領域、更底層核心技術等方面砥礪前行，完善和發展我國半導體產業水平，為薄膜沉積設備行業提供良好的發展環境。
中投產業研究院發布的《2024-2028年中國薄膜沉積設備行業深度調研及投資前景預測報告》共十一章。首先，報告介紹了薄膜沉積設備行業的相關概念、半導體設備發展情況，接著，對中國薄膜沉積設備行業發展的宏觀環境以及薄膜沉積設備行業發展狀況作了分析。然后報告分析了薄膜沉積設備的相關技術、進出口情況以及主要應用領域發展情況；接下來，報告對國內外重點企業經營狀況進行了詳細分析；隨后對薄膜沉積設備行業投資進行了分析，并對薄膜沉積設備行業的發展前景進行了科學的預測。
本研究報告數據主要來自于國家統計局、工信部、半導體行業協會、中投產業研究院、中投產業研究院市場調查中心以及國內外重點刊物等渠道，數據權威、詳實、豐富，同時通過專業的分析預測模型，對行業核心發展指標進行科學地預測。您或貴單位若想對薄膜沉積設備行業有個系統深入的了解、或者想投資薄膜沉積設備相關項目，本報告將是您不可或缺的重要參考工具。
